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DXM-EST多點測量

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DXM-EST多點測量

  • 所屬分類:智能型檢測儀

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  • 發布日期:2021/08/26
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詳細介紹

設備信息

用于晶片自動檢測,適用于2-6英寸晶片,主要針對晶片精準的多點測量,準確的測量出晶體在生長過程中,內部晶格的變化量,為晶體生長的一致性給出指導性數據。設備精度為±30”,Z小讀數1”(精度可根據要求升級)

適用晶體

壓電晶體、碳化硅、砷化鎵、磷化銦等III-V族化合物

 

 

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